高真空ポンプ油 | NEOVAC MR Series
ロータリーポンプの真空油は、潤滑と気密維持の目的に使用されます。低い蒸気圧、適正な粘度、乳化しにくい性質(抗乳化性)すなわち、水と容易に分離し水を除去し易い性質が重要です。
「ネオバック」は高真空ポンプ油の代名詞として広く親しまれ、性能への信頼性の高さから多くの真空ポンプメーカーより使用油の推奨を受けています。 半導体やシリコンウエハ、蒸着、熱処理、包装などの真空装置に使用され、生産性向上に貢献しています。