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高真空ポンプ油

「ネオバック」は高真空ポンプ油の代名詞として広く親しまれ、性能への信頼性の高さから多くの真空ポンプメーカーより使用油の推奨を受けています。 半導体やシリコンウエハ、蒸着、熱処理、包装などの真空装置に使用され、生産性向上に貢献しています。

高真空ポンプ油 | NEOVAC MR Series

ロータリーポンプの真空油は、潤滑と気密維持の目的に使用されます。低い蒸気圧、適正な粘度、乳化しにくい性質(抗乳化性)すなわち、水と容易に分離し水を除去し易い性質が重要です。
型番 動粘度 mm2/s (40℃) 引火点 ℃ 特長・用途 色 (ASTM) 蒸気圧 Pa(Torr) (50℃) 製品案内
MR-100 44.6 230 小型ポンプ用の標準品 L0.5 1.3X10-2以下 (1X10-4)
MR-200 71 256 全ての回転式ポンプに適用する標準品 L0.5 1.3X10-3以下 (1X10-5)
MR-250 105 270 大型ポンプ用の標準品 1 1.3X10-3以下 (1X10-5)
MR-200A 71 252 MR-200の耐熱・酸化性向上品、水分吸引対応品 L0.5 1.3X10-3 or less (1X10-5)
MR-250A 105 270 MR-250の耐熱・酸化性向上品、水分吸引対応品(大型ポンプ用) L1.5 1.3X10-3以下 (1X10-5)

高真空ポンプ油 | NEOVAC SX & SY

拡散ポンプの真空油は分子状態または蒸気として噴射し、真空状態を得るために使用されます。低い蒸気圧、熱によって変質しないこと(耐熱性)や酸素と反応しにくい性質(耐酸化性)など化学的に安定であることが要求されます。
型番 動粘度 mm2/s (40℃) 平均分子量 引火点 ℃ 特長・用途 蒸気圧 Pa(Torr) (25℃) 到達圧力 製品案内
SX 約394 235 表面処理装置用(蒸着・スパッター・熱処理) 7X10-6以下 (5X10-8)
SY 約422 250 表面処理装置用(蒸着・スパッター・熱処理) 1X10-6以下 (1X10-8)

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